thermal熱流儀覆蓋芯片高低溫循環(huán)場景測試
高低溫氣流溫度沖擊系統(tǒng)適配封裝熱沖擊模擬
冷熱溫度沖擊系統(tǒng)覆蓋高低溫循環(huán)場景測試
芯片氣體沖擊熱流儀提供封裝控溫解決方案
chiller變頻冷水機±1℃波動滿足封裝需求
半導體行業(yè)變頻制冷機-50℃~200℃寬域溫控
半導體變頻水冷機±0.5℃滿足光刻工藝要求
半導體實驗室級變頻冷水機-高精度溫控系統(tǒng)
半導體冷水機丨刻蝕/鍍膜工藝專用冷卻方案
工業(yè)級變頻冷水機組丨半導體封裝冷卻方案
半導體用高精度冷水機丨助力芯片良率提升
光刻機配套純水冷水機丨精密檢測實驗室機型
晶圓級Chiller丨支持Chiplet封裝冷卻方案
光刻機用超純水Chiller丨助力晶圓良率提升
半導體晶圓制造用Chiller丨光刻機溫控0.1℃
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